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                                              資料詳情 TECHNICAL

                                              分子泵故障問題維修方法

                                               發表時間:2022-10-31

                                              分子泵使用中,可能出現的故障,以下是故障原因及真空泵維修方法:
                                              1、分子泵為何會發生半邊熱,半邊冷的現象?
                                              原因:附近有光照或其他熱源

                                              解決方法:避免光照或熱源

                                              2、分子泵使用中發現油發黑,請問油為什么發黑?或者多長時間油才會變黑?
                                              原因:冷卻不良,負載太大

                                              解決方法:檢查冷卻系統,檢查真空系統

                                              3、分子泵在運轉過程中,出現頻率從正常下降至一定頻率后又恢復到正常,之后又下降至一定頻率,再恢復到正常,反反復復,更換電源后現象仍如此,請問該現象如何解釋?

                                              原因:負載太大,系統真空度不夠

                                              解決方法:檢查系統

                                              4、分子泵軸承為什么會燒毀
                                              原因:①缺乏定期維護②冷卻不良導致過熱③沒有及時換油④抽除的氣體中含有大量粉塵

                                              解決方法:①及時維護②檢查冷卻系③及時換油④隔離粉塵

                                              5、有防護網保護,為什么還會有大塊碎玻璃掉入泵內?
                                               原因:防護網破裂,前級管道破裂

                                              解決方法:優化系統設計

                                              6、真空度很好的情況下,分子泵油為何會返到前級管道?
                                              原因:油池破裂或密封不良

                                              解決方法:檢查油池

                                              7、正常使用下,為什么分子泵油池會出現裂紋或者變形
                                              原因:過熱,負載大

                                              解決措施:檢查冷卻系,檢查系統

                                              8、分子泵中經常掉出頂絲、鏍釘等物體,如M5的頂絲等,請問是否對分子泵的使用有影響?應如何解決?

                                              原因:應是偶爾發生的事情,可能是平衡中遺漏的平衡釘,對分子泵沒有影響。

                                              解決方式:應是偶爾發生的事情,可能是平衡中遺漏的平衡釘,對分子泵沒有影響。

                                              9、膠圈口分子泵要用多少卡鉗,使用才安全?
                                              答:不作特殊限定,至少3個,按照法蘭大小可選3、6、12、24等

                                              10、變頻器電源在什么情況下會造成程序丟失或者錯亂?
                                              答:①電壓不穩②強干擾③高壓打火④認為解密

                                              11、分子泵噪音大如何界定?是否有合格標準,是多少?
                                              答:小于72db合格,噪音的大小不太好界定,需要專用儀器和特定的測試環境

                                              12、分子泵是否對冷卻有明確要求?如風冷需要外界溫度是多少?如水冷則對水有何具體要求?如未達到要求會出現何后果? 答:注意水溫和水流量,冷卻不良會導致無故停機、碎泵、油變黑等。

                                              13、分子泵電源存在接地、屏蔽等問題,應如何做才是佳方式? 答:電源本身有接地線,只需要保證市網有良好接地就可以了;屏蔽主要是指對強磁場和強輻射的屏蔽。

                                               14、變頻器電源,轉速上升過程中就自動關機,即顯示“Poff”?
                                              答:原因:電壓低

                                              15、分子泵葉片破碎的原因:
                                              答:造成分子泵轉子、靜子打碎的原因比較多。 
                                              ①、誤操作;比如突然的破真空,因為轉子與靜子葉片之間的空隙非常的小,如果葉片的材質比較薄或者比較軟,突然的空氣阻力會造成葉片變形,這樣可能會造成轉子靜子之間的摩擦,導致打碎。
                                              ②、是異物掉入;沒有安裝過濾網使肯定不行的,另外掉進去的東西不一定要多大,但如果硬度夠了一樣會造成傷害,輕則造成葉片邊緣被打成鋸齒狀,重則打碎葉片。所以現在的設備商在安裝分子泵的時候會盡量改為側面90度或倒立安裝,避免異物掉入。
                                              ③、電壓的不穩定,特別對磁浮類的分子泵損傷較大。
                                              ④、前級泵的效率差;我們知道腔體內的大部分氣體首先是通過前級泵抽出,真空達到一定程度分子泵才會啟動。如果前級泵的效率差,分子泵就會比較吃力,啟動速度慢,抽氣時間長,電流高,分子泵溫度升高等。
                                              ⑤、分子泵保養時的動平衡沒有做好,這是技術的關鍵,動平衡差,振動就大,抽氣效率就差,也容易造成軸承部分的過度磨損。
                                              ⑥、軸承部分沒有使用原廠的標準軸承,效果和尺寸不標準等。


                                               

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