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                                              資料詳情 TECHNICAL

                                              為什么分子泵需要前級泵

                                               發表時間:2022-12-19

                                                      為什么分子泵需要配置前級泵, 而不是直接在大氣壓下工作。

                                                      我們都知道渦輪分子泵必須在分子流狀態 ( 氣體分子的平均自由程遠大于導管截面最大尺寸的流態 ) 下工作才能顯示出它的優越性,可很少有人知道為什么需要在分子流狀態。

                                                     其實, 包括轉子和定子葉片排列的泵送作用是基于將脈沖從快速旋轉的葉片傳輸給被泵送的氣體分子。與葉片碰撞的分子被吸附在葉片上,然后在一段時間后再次離開葉片。在該過程中, 葉片速度被加到熱分子速度上,為確保由葉片傳輸的速度成分不因與其他分子碰撞而損失,分子流必須在泵中占主導地位, 即平均自由程必須大于葉片間距。

                                                     在純粹渦輪分子泵的情況下, 由于其分子流需要的前級真空壓力大約為10-2 mbar, 所以需要工作壓力為 1~10-2 mbar的前級泵,而前級泵抽氣速率或者真空度滿足不了使用要求, 所以需要分子泵。而且不預抽的話, 直接啟動分子泵, 由于形成的壓力太高容易把分子泵葉片損壞,這就是為什么分子泵需要前級泵的主要原因。

                                               

                                               

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