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                                              資料詳情 TECHNICAL

                                              氦質譜檢漏儀操作步驟

                                               發表時間:2022-12-21

                                                     氦質譜檢漏儀是檢漏領域里不可缺少的一種儀器,由于檢漏效率高,簡便易操作,儀器反應靈敏,精度高,不易受其他氣體的干擾,在檢漏行業中得到了廣泛應用。

                                              一、氦質譜檢漏儀開機步驟

                                                1、將總電源轉到“前級泵”,低真空表頭指示值應從左向右逐漸上升至2~15Pa,開抽速閥,開漏孔開關,表頭示值也應能抽到原來位置,再關抽速閥。

                                                2、將總電源轉到“擴散泵”,燈亮,擴散泵開始加熱。

                                                3、等20分鐘左右,擴散泵排氣管應熱,開冷規開關,“質譜室壓強”表頭指針應從左打向右(即冷規已激發)再關冷規。

                                                4、開抽速閥,過幾分鐘后開冷規,表頭指針應從左打向右,再從右向左逐漸上升(真空示值在1×10-2Pa以下請不要長時間開冷規,可等一會兒再開),當真空示值超過1×10-2Pa后,可啟動燈絲,燈亮,“發射電流”有指示,開、關漏孔檢查氦質譜檢漏儀靈敏度(可調加速電壓使信號指示Zda),靈敏度達要求后關漏孔。

                                                5、將工件用外接泵抽上真空后,開節流閥至冷規指示值為5×10-3~1×10-2Pa之間,對工件噴氦檢漏。檢漏完,關節流閥。

                                              二、氦質譜檢漏儀關機步驟

                                                1、關冷規,關抽速閥。

                                                2、將總電源轉到“前級泵”。

                                                3、等20分鐘左右,擴散泵已冷,將總電源轉到“關”。

                                              三、氦質譜檢漏儀檢漏注意事項

                                                1、工件要保持清潔、干燥。

                                                2、對工件噴氦應按以下順序進行:①從上往下。②從靠近測試口到遠離測試口。

                                                3、噴氦時應經常檢查噴槍口是否有氦氣噴出。

                                                4、檢完工件,必須將“節流閥”關閉,才能取工件。

                                                5、對同一工件,如有兩處以上漏點,應排除Zda的漏點后,再對其它地方檢漏。

                                                6、裝工件時應使連接處密封好,不能有漏。

                                                7、檢漏間應通風良好,避免氦氣濃度,但應避免強通風。

                                                8、氦氣屬貴重氣體,應避免泄漏浪費。

                                              四、提高氦質譜檢漏儀靈敏度方法

                                                1、盡量開大節流閥。

                                                2、盡量減小外接泵對工件的分流或采用不分流檢漏(當工件抽上真空后,關閉工件與外接泵之間的閥門)。

                                                3、將工件用塑料袋包扎,袋內再充入氦氣,(但此法不能測出具體漏點)。

                                                4、使用液氮,全開節流閥,采用不分流檢漏,必要時可將抽速閥關小。

                                              五、氦質譜檢漏儀使用液氮步驟

                                                1、加液氮:在冷規指針過1×10-2Pa以后,加入液氮。

                                                2、停機前必須將殘余液氮排除后,才能關機:關機前先關“冷規”,關抽速閥,將總電源轉到“前級泵”,將冷阱內殘余液氮排出,再加入熱水,等20分鐘左右,擴散泵已冷,將總電源轉到“關”。

                                                3、加液氮時應注意防護,防止凍傷,加液氮每次不一定加滿,使用中如不夠,可再加。

                                                4、第二天(或定期)將液氮冷阱取下,清洗冷阱內、外筒,再用吹風吹干,安裝好后按正常程序開機。

                                              六、氦質譜檢漏儀調氦峰步驟

                                                調氦峰在更換燈絲后及每天開始檢漏前檢查氦質譜檢漏儀靈敏度達不到要求時進行。

                                                1、調氦峰方法:

                                                開漏孔開關,單方向(從75~165V或從165~75V)調加速電壓“V”,使氦質譜檢漏儀放大器輸出表指示值出現一個Zda值,然后關漏孔開關,如表頭指示值變小,說明氦質譜檢漏儀接收到氦信號,即找到氦峰;如表頭指示值不變,說明不是氦峰,則繼續調“V”,直到找到氦峰(出現氦的“V”一般在85~150V之間)。

                                                2、調氦峰分辨不好:

                                               ?、俸ず椭仉x子分辨差。

                                               ?、诤ず洼p離子分辨差。

                                                3、調氦峰信號?。?/strong>

                                               ?、贌艚z沒正對電離盒上的電子入口。

                                               ?、跓艚z離電離盒太遠。

                                               ?、鄯直娌缓?。

                                               ?、軣艚z質量差(受油蒸汽污染或本身發射能力低)。

                                              七、氦質譜檢漏儀換燈絲步驟

                                                當冷規指針已過1×10-2Pa,按燈絲啟動,燈很亮,發射電流無指示,量離子源插頭①②足不通,即為燈絲斷,燈絲壽命一般正常使用為1至3個月。

                                                1、停機換燈絲:可直接取下離子源更換燈絲,裝好后按正常開機步驟進行。

                                                2、不停機換燈絲:關冷規,關抽速閥,取離子源插頭,取下離子源,更換燈絲后裝上離子源,插離子源插頭,此時“加速電壓”示值不應有變化,“發射電流”示值應為零。如其中有一示值與上不符,則是離子源內有短路,應取下排除。將閥開關由“前置”轉向“粗抽”(注意:閥開關在“粗抽”的時間不要超過五分鐘),全開節流閥,等真空抽上后,關閉節流閥,將“粗抽”轉向“前置”,開抽速閥,開冷規,等真空過1×10-2Pa后可啟動燈絲,調氦峰。

                                                氦質譜檢漏儀燈絲安裝時應先將離子源內的污漬用細砂紙打干凈,清洗后再裝。燈絲應正對電離盒電子入口,盡量靠近電離盒,但不能短路,三根引線間也不能相互短路。

                                              八、氦質譜檢漏儀日常維護

                                                1、定期更換燈絲,清洗冷規。

                                                2、定期更換機械泵油,適時對機械泵加油。

                                                3、如加液氮,需定期清洗冷阱。

                                                4、拆卸氦質譜檢漏儀部件后,安裝時要避免安裝處出現泄漏。

                                                5、適時對氦質譜檢漏儀可能出現的泄漏處(如放氣閥)進行清洗,排除漏點。

                                               

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