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                                              資料詳情 TECHNICAL

                                              了解真空泄漏中的實漏、虛漏、外漏、內漏

                                               發表時間:2022-12-30

                                                     大部分真空系統的表現會隨時間的推移而變化,特別是用于生產的真空設備,幾乎不可避免地會發生真空度下降等問題,造成這些問題的一個很常見的原因就是泄漏。

                                                      定期的泄漏檢測很重要

                                                     大的泄漏通常會非常明顯:真空腔體壓力未按正常速度下降,或者極限壓力明顯高于正常值。然而,有些時候,由于真空泵可以輕松處理泄漏氣體造成的氣載,小的泄漏很難被發現,這時,即使真空計的讀數仍然在正常的水平,泄漏的出現仍有可能為真空腔體帶來期望之外的氣體(如氧氣),這些氣體有時候會對工藝過程(比如某些鍍膜工藝)帶來非常嚴重的影響。所以,無論真空系統的壓力是否有明顯下降,都應該定期進行泄漏檢測。

                                                      實漏和虛漏

                                                     并非所有的抽氣時間延長、極限壓力下降都是因為泄漏,在使用檢漏儀檢漏前,有必要了解一下如何判斷真空設備是否真的發生了泄漏。

                                                     真空腔室的內壁或腔室內壁附著的污染物,在真空下持續的釋放出氣體,這種現象被稱為放氣。當真空腔室內部存在死空間,并且該死空間通過一個狹長的通道與腔室內部連通時,死空間內的氣體在真空下也會緩慢的釋放出來,形成類似于放氣或泄漏的現象,通常把這種現象叫做虛漏。

                                               

                                                      真實的泄漏可以通過檢漏找到,放氣也可以通過清洗真空腔體內表面而解決,而虛漏一旦產生,很難被發現,需要在設計和制造時盡量避免容易產生虛漏的結構或工藝。

                                                     外漏和內漏

                                                     我們平時所講的泄漏一般是指外漏,即從真空腔體或管道的外部向內部泄漏;而內漏是指兩個本應隔離的真空腔室之間,通過閥門隔離的兩段真空管道之間,或真空腔室與管道之間,發生了泄漏。

                                               下圖是一個典型的擴散泵抽氣機組,羅茨泵上方的閥門在高真空時應該是關閉的,如果該閥門關閉不嚴,高真空時氣體就會從閥門的下面向右側泄漏,這種泄漏就是內漏。和外漏類似,內漏也會造成高真空抽氣時間延長、極限真空變差等問題。

                                                     外漏可以方便地通過檢漏儀直接找到,而內漏卻只能通過分段保壓等方式做預判斷,然后拆掉可疑的閥門一側的管道,然后再進行檢漏(或者在可疑閥門的一側連接檢漏儀,向另一側的管道內充入氦氣進行檢漏)。

                                                      動態泄漏

                                                     真空系統中有運動傳遞的地方會采用動密封,這些動密封結構,很有可能在靜態的時候密封良好而運動的時候產生泄漏;比如采用橡膠軸封做動密封(閥桿與閥體之間)的閥門,就比較容易發生這種現象。這種現象發生的概率不高,不過由于檢漏時閥門一般是處于打開或關閉的某一個狀態,這種動態泄漏很難被發現。

                                                     對于非常關鍵的工藝,選擇波紋管密封的閥門可以大大減小出現動態泄漏的概率;如果選用的還是軸封做密封的閥門,在檢漏時,向閥桿位置噴氦的同時,操作閥門進行動作,也可以很快地判斷該閥門是否存在動態泄漏。

                                                     值得注意的是,真空腔體檢漏的要求較高,不僅需要操作者具備扎實的基礎知識、豐富的操作經驗,而且現場情況也復雜多變。因此,出現問題,最好尋求真空專業人員的幫助。

                                               

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