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                                              資料詳情 TECHNICAL

                                              注意!羅茨泵在真空工藝應用中常發故障解析

                                               發表時間:2023-02-28

                                                     許多真空工藝裝置中,在前級的基礎上都配備羅茨泵(圖1),一是可以提高抽速,二是改善真空。然而,羅茨泵在運行過程中經常遇到下列問題:

                                              注意!羅茨泵在真空工藝應用中常發故障解析

                                                     羅茨泵在啟動時由于電機過載而跳閘 

                                                國內羅茨泵的最大允許壓差一般都規定在5000Pa,其電機容量亦是根據最大允許壓差來設定。

                                                例如:羅茨泵與前級泵抽速之比為8:1,如果羅茨泵在2000Pa下啟動,羅茨泵壓差為8×2000Pa-2000Pa=14000Pa>5000Pa。

                                                于是就超過它的最大允許壓差,所以要根據羅茨泵與前級泵的配比來確定羅茨泵的最大啟動壓力。

                                              注意!羅茨泵在真空工藝應用中常發故障解析

                                                     在運行過程中過熱,甚至轉子被卡死 

                                                造成羅茨泵過熱有兩個原因:

                                                一是入口氣體溫度過高,因為被抽氣體通過羅茨泵后,溫度會進一步升高,如果泵體長時間在超過80℃下運行,會產生一系列故障,甚至造成轉子因熱膨脹而卡死,建議當入口氣體溫度超過50℃時,在羅茨泵上游增設熱交換器。

                                                二是羅茨泵排氣側的壓力過高,特別是當前級泵為液環泵時,如果液環泵的密封液被工藝氣體污染,產生高的蒸汽壓,則羅茨泵長時間在高壓差運行,就會導致過熱。

                                                  前級泵的液體倒流到羅茨泵的泵腔內 

                                                這種現象在羅茨水環機組中常有發生。因為在停水環泵時,雖然羅茨泵己經停止運轉,但羅茨泵仍處于真空狀態,水環泵的水就會返流到羅茨泵的泵腔內,甚至通過迷宮密封進入油箱,使油乳化,軸承損壞。

                                                因此,在停水環泵前,必須從水環泵的入口充入大氣,而且充氣時間必須在水環泵停止運轉以后繼續維持30秒。

                                               

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